Reaktor Hot Wire PECVD adalah suatu reaktor PECVD yang dipadukan dengan filamen panas. Filamen panas terbuat dari kawat tungsten. Reaktor tersebut telah digunakan untuk menumbuhkan lapisan tipis berbasis silikon, baik silikon amorf terhidrogenasi maupun mikrokristal silikon dan poli silikon. Beberapa artikel telah dipublikasikan pada jurnal nasional terakreditasi maupun yang tidak terakreditasi.
Studi awal dilakukan pada tahun 1999 dan dipublikasikan pada jurnal Himpunan Fisika Indonesia tahun 2000. Penelitian lanjutan dengan desain hot wire yang berbeda dilakukan tahun 2001 melalui hibah DCRG URGE, 2006-2008 melalui hibah penenlitian fundamental, dan 2009 hibah PSN Bacth II.
Tidak ada komentar:
Posting Komentar