Telah ditumbuhkan lapisan tipis mikrokristal silikon di atas gelas Corning 7059 dengan sistem hot wire pecvd. Gas silan 10% dalam hidrogen digunakan sebagai sumber gas. Laju deposisi bervariasi dari 0,89 A/s sampai 1,90 A/s, dan celah pita optik bervariasi dari 1,68 eV sampai 1,56 eV untuk daya rf yang bervariasi dari 60-120 watt pada temperatur filamen 800 C. Penelitian ini terlaksana atas bantuan dana DP2M DIKTI melalui skim hibah penelitian fundamnetal tahun 2006-2007 dan dipublikasikan dalam Jurnal Fisika "Gravitasi, Wahana Interaksi Imiah" Jurusan Fisika FMIPA Universitas Tadulako Tahun 2007.
Tidak ada komentar:
Posting Komentar